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詳細資料ISBN：9860003734 叢書系列：公共工程.交通 規格：平裝 / 66頁 / 普通級/ 初版 出版地：台灣 內容簡介利用微奈米機電與 E-BEAM LITHOGRAPHY 製程，設計製作出感測元件電極。然後利用化學氣相沉積法(CVD)成長(GROWTH)出奈米碳管，完成奈米碳管場效電晶體式毒性氣體感測器。 |
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